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溫濕度監測在半導體行業潔凈室中的問題及解決方案

發布日期:2022-11-08| 瀏覽:

       潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來確定的。在滿足工藝要求的條件下,應考慮人的喜好。不同行業的潔凈室都有不同的溫濕度控制范圍,對監測儀器也有不同的要求。本章將從半導體行業來探討潔凈室的溫濕度方案。

  面板顯示、微機電、晶圓、芯片等高精尖要求的半導體行業加工精度越精細,對溫濕度波動的范圍要求越小。如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1℃,就會引起0.24um線性膨脹。在這樣的情境下,溫度需要準確控制,避免影響產品的質量。

  半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

HF532溫濕度變送器.jpg

  潔凈室內溫度的影響主要是從產品精度,合格率以及污染的角度(溫度升高后,會引起人出汗,汗水會對產品產生污染,特別是怕鈉的半導體車間)來考慮的。越精細、集成度高的電子加工,對溫度的敏感性越大。

  濕度太高會使物體表面的灰塵難以清除,但是相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面,靜電會使半導體器件發生擊穿。

  按照半導體生產工藝的特點,潔凈室一般溫度控制在20-25℃,濕度控制在50-60%RH,這個范圍不但滿足了生產工藝的要求,而且人在這樣的環境下也感到舒服。

  羅卓尼克溫濕度監測:

  羅卓尼克溫濕度變送器憑借其準確、穩定、易用等的特性贏得了半導體客戶的青睞。無錫徽科特服務的半導體客戶不斷增多,如維信諾、惠科光電,廈門天馬等,他們對溫濕度的控制都很嚴格,羅卓尼克的HF1,HF5成為了他們選擇的明星款產品。這兩款變送器很好的滿足了客戶對儀器高精度、長期穩定、帶顯示和分析儀在線校準功能,可以為生產運營提供關鍵控制和監測數據的需求。

  HF1溫濕度變送器:

  HF1系列是測量相對濕度和溫度的經濟款變送器,性價比高??蛇xSW21軟件進行變更量程并對變送器進行校準和標定。

  ?23℃±5℃精度:±2%RH/±0.3℃;±1.5%RH/±0.2℃(升級版)

  ?測量范圍:0至100%RH/-20℃至60℃

  ?體積小巧,容易安裝

  ?USB接口

  ?工廠校準35%RH,80%RH

  ?提供OEM定制型號和精度

  HF5溫濕度變送器:

  HF5系列變送器可配合所有帶AirChip芯片的HC2探頭使用。由于探頭的高精度,HF5系列變送器能夠完成高精度的測量。其探頭更換簡單輕松,自帶實體按鈕可現場輕松校準,屏幕背光可調節。

  ?精度:10℃至30℃時,±0.8%RH,±0.1℃(常用精度)

  ?測量范圍:-50至100℃/0至100%RH(常用范圍)

  ?數字輸出,可以與模擬量輸出結合使用

  ?可以提供多種濕度學參數輸出

  ?HF5軟件任意點校準,保持更穩定、準確的精度

  ?可以作為系統驗證模擬器使用

  ?可選防爆款

  ?提供OEM定制型號,可選其他探頭


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